配氣系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

高清分辨率的真彩電容觸屏，操作作簡單，使用方便

進(jìn)口品牌高精度質(zhì)量流量控制器，配氣輸出精度高

PLC可編程控制器,可擴(kuò)展性強(qiáng)

可定制多種組份氣體通道

技術(shù)指標(biāo)

氣體稀釋精度：≤±1％

出氣流量：0-10L/min（可定制）

響應(yīng)時(shí)間：≤1 sec

預(yù)熱時(shí)間：＜30 min

工作環(huán)境溫度：5℃～45℃

供電：220VAC 50Hz

外形尺寸：深420mm×寬420mm×高220mm

配氣稀釋比：可選 1000:1、500:1、200:1、100:1、50：1

儀器重量： Kg

配氣系統(tǒng)

工作原理：

系統(tǒng)用戶參數(shù)及指令輸入和狀態(tài)參數(shù)輸出顯示均由觸摸顯示屏完成。用戶通過觸摸屏將參數(shù)輸入系統(tǒng)，系統(tǒng)根據(jù)用戶設(shè)定的參數(shù)計(jì)算出各路對應(yīng)的控制量去控制調(diào)節(jié)質(zhì)量流量控制器(MFC)的輸出。一方面MFC收到系統(tǒng)給它的控制量后調(diào)節(jié)自身氣路輸出閥門開啟幅度，另一方面MFC實(shí)時(shí)檢測通入自身內(nèi)的真實(shí)氣體流量，并根據(jù)該氣體流量實(shí)時(shí)輸出一個(gè)與該氣體流量成線性正比的反饋信號。系統(tǒng)根據(jù)各路該反饋信號獲得實(shí)際的氣體輸出流量進(jìn)而計(jì)算實(shí)際輸出的氣體濃度。各通道MFC輸出的氣體一同匯入氣體混合器進(jìn)行充分混合后通過出氣口輸出。