硫化氫質(zhì)量流量計

Aera流量計 Aera 氣體質(zhì)量流量控制器

FC-R7800CD  FC-R7810CD FC-R7820CD

質(zhì)量流量控制器是在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中的成膜、蝕刻等供氣系統(tǒng)中緊密控制氣體流量的裝置。本公司的產(chǎn)品在閥門上搭載使用自己開發(fā)的Ni-Co合金的波形隔膜，對于流體接觸的所有部分采用了金屬密封的潔凈結(jié)構(gòu)，結(jié)合各種用途備齊了豐富的產(chǎn)品系列。今后，我們也將為應(yīng)對不斷發(fā)展進(jìn)步的半導(dǎo)體工藝的要求，推出高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，為半導(dǎo)體的制造技術(shù)的發(fā)展做貢獻(xiàn)。

Aera質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品源于美國，是流體控制領(lǐng)域的標(biāo)志性企業(yè)

硫化氫質(zhì)量流量計 性能：

快速的響應(yīng),響應(yīng)時間＜1秒.

精度≤1%FS   線性度小于等于0.5%FS  重復(fù)性≤0.2%FS

易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸

高度的可靠性和穩(wěn)定性

特點:

耐腐蝕性，流量范圍從10sccm－200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性連接

全金屬密封

常關(guān)或常開的電磁控制閥

泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He

      Aera創(chuàng)建于美國，是一家提供流體測量和控制產(chǎn)品及全套解決方案的跨國高科技企業(yè),掌握行業(yè)*的流體測量及控制技術(shù)，專注于高科技工業(yè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，包括半導(dǎo)體、新能源、 新材料，平板顯示、數(shù)據(jù)存儲、工業(yè)鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產(chǎn)品包高性能的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器，氣體工藝整體解決方案和服務(wù)支持方案。Aera始終致力于為客戶開發(fā)優(yōu)化的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品，客戶包括但不限于原始設(shè)備制造商（OEM）和終端用戶（END-USER）。